中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩，中微总部测试 、华南
及生PECVD 等微观加工设备研发制造，产基基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、地期项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，封顶位于广州增城经济技术开发区的广州公司中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶，集研发 、中微总部投资约 10 亿元 ，华南装配功能于一体 。及生近日 ，产基向着既定建成投产目标稳步推进。地期并持续拓展智能玻璃 、封顶整体规划总投资 30 亿元 。广州公司板级封装等新兴泛半导体装备赛道。